高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。

高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体。

常见高纯气体的用途

环氧乙烷可用作生产增塑剂、润滑剂等；

氯甲烷是重要的甲基化剂，还可作致冷剂、发泡剂等；

氯乙烷可用作烟雾剂、冷冻剂、汽油抗震剂、局部麻醉剂；

二甲醚可作喷气推进剂、制冷剂、麻醉剂；甲硫醇用于合成染料、医药、农药；

乙炔可直接用于金属切割焊接、原子吸收；乙烯基乙炔主要作为氯丁橡胶原料等